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【技術(shù)文章】薄膜制備環(huán)境-超凈工作間標(biāo)準(zhǔn)與級(jí)別 2014-03-10

在潔凈的環(huán)境下制備薄膜，是保證薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)之一。凈化間的定義最初是由美國(guó)開(kāi)發(fā)的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209版(Federal Standard 209)。后來(lái)發(fā)展為以單位體積中存在一定直徑以上的顆粒數(shù)為基礎(chǔ)的凈化間級(jí)別的定義。凈化間級(jí)別的米制版如表4一18所列。圖4...

【技術(shù)文章】薄膜制備的環(huán)境-塵埃與針孔 2014-03-05

【技術(shù)文章】薄膜圖形加工的主要方法 2014-02-28

在基板表面上形成所要求的薄膜圖形的方法大致有以下三種: (1)用絲網(wǎng)印制術(shù)印制或者用感光樹(shù)脂(光刻膠)在基板表面上形成負(fù)圖像，然后采用真空蒸鍍、濺射、CVD等方法進(jìn)行全表面鍍膜，接著把基板浸泡在溶解負(fù)像物質(zhì)的溶劑中，這樣在把形成負(fù)像物質(zhì)泡脹溶解的同時(shí)，...

【技術(shù)文章】什么是薄膜-陶瓷基片 2014-02-25

氧化鋁和鎂橄欖石等絕緣性陶瓷，即使在高溫條件下對(duì)高頻電力也具有優(yōu)異的絕緣電阻、耐壓和介電損耗等性能。陶瓷絕緣材料的主要用途見(jiàn)表4一5，其性能見(jiàn)表4一6。 陶瓷性能受到下面許多因素影響:主要成分的晶體類(lèi)型，非主要成分組成，雜質(zhì)，玻璃質(zhì)中間物，氣孔數(shù)最和分...

【技術(shù)文章】玻璃基片的性質(zhì) 2014-02-20

玻璃是一種透明的具有平滑表面的穩(wěn)定性材料，可以在小于5000溫度下使用。玻璃的熱性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)隨其成分不同而有明顯變化。如透明石英玻璃，其雜質(zhì)總含量小于l00ppm，在0. 18拜 m-45m一波長(zhǎng)范圍內(nèi)，其為透明狀態(tài)，在20＇C~ 1000C溫度范圍內(nèi)，...

【技術(shù)文章】薄膜制備中基片的選擇 2014-02-12

在薄膜的制備過(guò)程中，除了薄膜沉積技術(shù)外，為了獲得性能良好的薄膜及薄膜器件，還有不少特殊的技術(shù)需要掌握并熟練運(yùn)用。 由于薄膜的厚度很小，一般都不能支持本體，而必須為它提供一個(gè)載體。理想的載體或“基片”除了要有足夠的附著力以支持薄膜外，還不應(yīng)與薄膜相互作用...

【技術(shù)文章】超薄有機(jī)薄膜的LB制備技術(shù)的概述 2014-02-08

LB(Langmuir- Blodgett)薄膜技術(shù)是一種精確控制薄膜厚度和分子結(jié)構(gòu)的制膜技術(shù)。這種技術(shù)是20世紀(jì)30年代由美國(guó)科學(xué)家I. Langmuir及其學(xué)生K. Blodgett建立的一種單分子膜制備技術(shù)，即在水一氣界面上將不溶解的分子加以緊密有序排...

【技術(shù)文章】水熱電化學(xué) 2014-01-15

由于單獨(dú)的水熱法需要較高的溫度和壓力;而單獨(dú)的電化學(xué)工藝由于電解槽不能很好地密封，某些類(lèi)型的材料特別是鈣鐵礦型的介電陶瓷薄膜的制備尚有很大的困難，而且其電化學(xué)成膜的速率較低。因此，把水熱法和電化學(xué)法有機(jī)結(jié)合起來(lái)，形成水熱電化學(xué)方法是很有潛力的.目前，該方法已...

【技術(shù)文章】軟溶液制備技術(shù)的基本原理 2014-01-10

為了既能大量地且對(duì)環(huán)境也友好地開(kāi)發(fā)先進(jìn)的功能材料，又能實(shí)現(xiàn)社會(huì)經(jīng)濟(jì)的可持續(xù)發(fā)展，不少研究者提出了新的工藝技術(shù)概念和選擇新的工藝技術(shù)流程。日本東京工業(yè)大學(xué)的吉村昌弘(Masahiro Yoshimura)教授在多年研究陶瓷薄膜制備工藝技術(shù)的基礎(chǔ)上于20世紀(jì)末提...

【技術(shù)文章】噴霧熱分解法的改進(jìn)技術(shù) 2014-01-06

為了改善SP法所制備薄膜的表面形貌和性能，主要的研究工作集中在如下三方面:一是改進(jìn)氣體的霧化技術(shù)，如脈沖間歇噴霧以及納米射流;二是對(duì)源物質(zhì)和溶劑的選擇，改進(jìn)氣體的配制;三是采用新的加熱沉積手段，如采用微波加熱、熱等離子體離化、冷等離子體氣氛沉積等。 等...